微導(dǎo)納米:助力ALD高端裝備國產(chǎn)化 打贏關(guān)鍵核心技術(shù)攻堅(jiān)戰(zhàn) | 聚焦「毅」家人

發(fā)布時(shí)間: 2022-04-29 18:12:24

1974年,芬蘭科學(xué)家Tuomo Suntola博士發(fā)明了原子層沉積(ALD)技術(shù),但相關(guān)工藝受限于配套的工程條件不甚齊備和較低的沉積速度,一直未獲得實(shí)質(zhì)性產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展。

直到上世紀(jì)90年代末期,隨著微電子和深亞微米芯片技術(shù)的發(fā)展,市場對器件尺寸和材料提出了更高要求,ALD技術(shù)在加工三維結(jié)構(gòu)和高深寬比微納結(jié)構(gòu)超薄膜方面的優(yōu)勢逐漸體現(xiàn),成為了以集成電路先進(jìn)制程晶圓制造為代表的關(guān)鍵核心技術(shù)之一。

在ALD領(lǐng)域,國外以芬蘭的Picosun、Beneq、ASM International N.V 等公司發(fā)展最為悠久;而國內(nèi)ALD技術(shù)起步較晚,長期以來,中高端ALD產(chǎn)業(yè)化設(shè)備完全由少數(shù)幾家海外知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商壟斷。

2015年,一位長期專注于ALD技術(shù)研發(fā)的華裔科學(xué)家——黎微明博士看到了國內(nèi)ALD技術(shù)的短板以及廣袤的市場應(yīng)用空間,他毅然回國,與國內(nèi)企業(yè)家共同創(chuàng)立了一家以原子層沉積技術(shù)為核心,主要從事先進(jìn)微米級、納米級薄膜沉積設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè)。短短七年時(shí)間,這家公司在原子層沉積技術(shù)、高質(zhì)量薄膜制造技術(shù)、高效電池制造技術(shù)等前沿科技領(lǐng)域,持續(xù)構(gòu)筑和強(qiáng)化技術(shù)壁壘,產(chǎn)品遍及光伏、柔性電子、半導(dǎo)體、LED及MEMS等諸多領(lǐng)域,形成了一支專業(yè)能力強(qiáng)、服務(wù)素質(zhì)過硬的高效團(tuán)隊(duì)。

這家異軍突起的行業(yè)“隱形冠軍”,正是注冊在無錫新吳區(qū)的江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司。

1\回國創(chuàng)業(yè)的三個(gè)原因
 
1990年,22歲的黎微明遠(yuǎn)赴芬蘭赫爾辛基大學(xué)攻讀無機(jī)化學(xué)學(xué)位,博士畢業(yè)后他陸續(xù)在ASM、Silecs、Picosun等國際知名企業(yè)承擔(dān)并專精于ALD技術(shù)的應(yīng)用與研發(fā)工作。


在特定情況下,不同元素原子可以通過表面飽和化學(xué)反應(yīng),形成具有自限制的單原子層,重復(fù)形成的原子層就能以薄膜形式密集地覆蓋深亞微米級的復(fù)雜立體結(jié)構(gòu)表面。目前,任何其他已知的技術(shù)也不能如此精確地實(shí)現(xiàn)薄膜沉積過程中“原子層級”的控制效果。

2010至2015年期間,黎微明在 Picosun公司負(fù)責(zé)ALD技術(shù)亞太區(qū)的運(yùn)營和發(fā)展。“觸動(dòng)我選擇回國創(chuàng)業(yè)的原因有三點(diǎn)”,黎微明表示,一是當(dāng)時(shí)ALD設(shè)備幾乎被國際幾大巨頭所壟斷,國內(nèi)在這一方面仍是空白;二是當(dāng)時(shí)公司對亞太市場的戰(zhàn)略偏向保守;三是參觀了國內(nèi)某高端裝備企業(yè)后,他切身感受到中國尖端科技欣欣向榮的發(fā)展態(tài)勢。

“我感受到國外媒體對中國方方面面的報(bào)道非常不客觀,只有親身經(jīng)歷,才了解到原來中國某些領(lǐng)域的科技企業(yè),不論是技術(shù)水平,還是現(xiàn)代化管理水平均已經(jīng)走在了世界前列。國內(nèi)大環(huán)境,特別是江蘇地方政府開放、務(wù)實(shí)、高效的工作作風(fēng)也讓人印象非常深刻。”

2015年,黎微明辭去芬蘭Picosun公司亞太區(qū)董事的職位,出任微導(dǎo)納米的副董事長兼首席技術(shù)官,負(fù)責(zé)該公司ALD技術(shù)路線和高端裝備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。
 
2\全球首創(chuàng)將ALD技術(shù)規(guī)?;瘧?yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)
 
早在2010年前后,國際巨頭ASM、Picosun以及Beneq便嘗試將 ALD技術(shù)應(yīng)用在光伏市場,但是在推廣的過程中,他們都遇到了技術(shù)或規(guī)?;a(chǎn)業(yè)化方面的難題,紛紛將這一設(shè)想擱置。

“我2015年回國創(chuàng)業(yè)的時(shí)候,中國已經(jīng)是全球光伏行業(yè)的領(lǐng)頭羊,但所有的核心關(guān)鍵設(shè)備均來自于德國、瑞士等歐美國家。我們希望做一些創(chuàng)新和突破,把ALD技術(shù)的應(yīng)用規(guī)模做得更大,在光伏領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。”抱著這樣的初衷,黎微明開始帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)潛心研發(fā)ALD技術(shù)在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用。

ALD技術(shù)雖然可行,但最大的難點(diǎn)在于該技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的成本并不占優(yōu)勢。當(dāng)時(shí),國內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)已經(jīng)非常成熟,如何在有限的利潤空間里將應(yīng)用成本降低,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化、標(biāo)準(zhǔn)化,成為了微導(dǎo)納米創(chuàng)立以來首先需要解決的問題。

“第一個(gè)光伏ALD設(shè)備,其實(shí)是客戶主動(dòng)找過來的。有家企業(yè)想嘗試采用一些新的技術(shù),應(yīng)用在最先進(jìn)的電池片里面,提升電池效率。”

接到需求后,微導(dǎo)納米用半年時(shí)間開發(fā)出了第一代樣機(jī),隨后黎微明又帶著設(shè)備和團(tuán)隊(duì)進(jìn)駐客戶工廠辦公一年,不斷地調(diào)整工藝和技術(shù)。2018年,其光伏領(lǐng)域的“夸父”原子層沉積設(shè)備一經(jīng)面世,便在行業(yè)內(nèi)迅速引起了廣泛關(guān)注。有業(yè)內(nèi)人士評價(jià):“微導(dǎo)納米ALD設(shè)備批量重復(fù)驗(yàn)證的PERC電池效率、EL良率、設(shè)備稼動(dòng)率、安全性能、產(chǎn)能和綜合使用成本等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo),均超越了現(xiàn)在使用的主流國外技術(shù),確立了一條不同于以往的新PERC電池生產(chǎn)方式。微導(dǎo)納米獨(dú)特的腔體和自動(dòng)化設(shè)計(jì),特別是其超高容量和超高產(chǎn)能的量產(chǎn)性能,極大地降低了PERC電池生產(chǎn)成本,是當(dāng)前全球技術(shù)和性能最為先進(jìn)的批量型ALD量產(chǎn)設(shè)備之一。”

回憶這段歷程,黎微明表示:當(dāng)時(shí)那個(gè)節(jié)點(diǎn),微導(dǎo)納米最缺乏的就是時(shí)間的驗(yàn)證,國內(nèi)公司還不太相信國產(chǎn)化設(shè)備及技術(shù),但其實(shí)我們第一代產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)就遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了當(dāng)時(shí)能夠買到的國際上最先進(jìn)的設(shè)備技術(shù)水平。從技術(shù)階段來說,它遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過我們現(xiàn)在所謂的“填補(bǔ)國內(nèi)技術(shù)產(chǎn)業(yè)空白”,而更應(yīng)該被稱之為一項(xiàng)“國際級前沿技術(shù)創(chuàng)新”。

而后,越來越多的客戶慕名而來尋求合作,微導(dǎo)納米的產(chǎn)品覆蓋包括通威太陽能、隆基股份、晶澳太陽能、阿特斯、天合光能等在內(nèi)的多家知名太陽能電池片生產(chǎn)商。發(fā)展到今天,微導(dǎo)納米的ALD產(chǎn)品幾經(jīng)迭代,工藝日漸純熟,目前已成長為全球高效電池生產(chǎn)最先進(jìn)的核心設(shè)備之一,在同類型產(chǎn)品中市場占有率穩(wěn)居全球第一梯隊(duì)。
 
3\加快突破半導(dǎo)體領(lǐng)域核心技術(shù)攻關(guān)
 
黎微明也是全球第一批將ALD技術(shù)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的科學(xué)家之一。在芬蘭工作期間,他參與了為英特爾公司45nm芯片研發(fā)高介電薄膜的工作,而國內(nèi)在28nm產(chǎn)品上才使用到該項(xiàng)ALD技術(shù)。

“和國外現(xiàn)狀相比,國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)至少落后了10年。微導(dǎo)納米著力于擴(kuò)大光伏領(lǐng)域ALD產(chǎn)品市場份額的同時(shí),并沒有放下半導(dǎo)體領(lǐng)域的研發(fā)探索,我們團(tuán)隊(duì)很多科研人員都是半導(dǎo)體行業(yè)出身,我們都希望通過自己的專業(yè)能夠?yàn)橹袊雽?dǎo)體關(guān)鍵裝備國產(chǎn)化出一份力。”在談到微導(dǎo)納米為何在成立3年后,又著力開拓半導(dǎo)體應(yīng)用市場時(shí),黎微明介紹道。

“要進(jìn)軍半導(dǎo)體的話,公司必須要有超凈間和先進(jìn)的檢測設(shè)備,這需要大量的資金投入。也是在2019年,公司正式對外開放融資,毅達(dá)資本——在半導(dǎo)體領(lǐng)域深耕多年的國內(nèi)頭部機(jī)構(gòu),成為了微導(dǎo)納米的A輪投資方。后續(xù),公司又引進(jìn)中芯聚源、高瓴創(chuàng)投等產(chǎn)業(yè)界、投資界資本,為公司提供了大量資金支持。”

2022年開年,微導(dǎo)納米傳來好消息,公司成為國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型 High-k 原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于 28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備公司。設(shè)備總體表現(xiàn)和工藝關(guān)鍵性能參數(shù)達(dá)到國際同類水平,并已獲得客戶重復(fù)訂單認(rèn)可,成功解決了一項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化難題,這也標(biāo)志著微導(dǎo)納米在國產(chǎn)ALD裝備產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的步伐。

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的不斷進(jìn)步,對ALD技術(shù)的需求也愈發(fā)顯著。目前微導(dǎo)納米已經(jīng)與國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)展開深入合作,并突破了多項(xiàng)技術(shù)“無人區(qū)”,填補(bǔ)了該領(lǐng)域無國產(chǎn)設(shè)備的空白。

關(guān)于公司的未來,黎微明表示,“一方面,我們希望通過我們的專業(yè),加快突破國產(chǎn)芯片設(shè)備發(fā)展的最前沿技術(shù)攻關(guān)。同時(shí),我們希望能夠?qū)LD技術(shù)應(yīng)用到新能源、新材料等更多戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,助力產(chǎn)業(yè)技術(shù)走在世界的最前沿。”
 

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發(fā)布時(shí)間: 2022-04-29 18:12:24

1974年,芬蘭科學(xué)家Tuomo Suntola博士發(fā)明了原子層沉積(ALD)技術(shù),但相關(guān)工藝受限于配套的工程條件不甚齊備和較低的沉積速度,一直未獲得實(shí)質(zhì)性產(chǎn)業(yè)化進(jìn)展。

直到上世紀(jì)90年代末期,隨著微電子和深亞微米芯片技術(shù)的發(fā)展,市場對器件尺寸和材料提出了更高要求,ALD技術(shù)在加工三維結(jié)構(gòu)和高深寬比微納結(jié)構(gòu)超薄膜方面的優(yōu)勢逐漸體現(xiàn),成為了以集成電路先進(jìn)制程晶圓制造為代表的關(guān)鍵核心技術(shù)之一。

在ALD領(lǐng)域,國外以芬蘭的Picosun、Beneq、ASM International N.V 等公司發(fā)展最為悠久;而國內(nèi)ALD技術(shù)起步較晚,長期以來,中高端ALD產(chǎn)業(yè)化設(shè)備完全由少數(shù)幾家海外知名半導(dǎo)體設(shè)備廠商壟斷。

2015年,一位長期專注于ALD技術(shù)研發(fā)的華裔科學(xué)家——黎微明博士看到了國內(nèi)ALD技術(shù)的短板以及廣袤的市場應(yīng)用空間,他毅然回國,與國內(nèi)企業(yè)家共同創(chuàng)立了一家以原子層沉積技術(shù)為核心,主要從事先進(jìn)微米級、納米級薄膜沉積設(shè)備研發(fā)、生產(chǎn)和銷售的企業(yè)。短短七年時(shí)間,這家公司在原子層沉積技術(shù)、高質(zhì)量薄膜制造技術(shù)、高效電池制造技術(shù)等前沿科技領(lǐng)域,持續(xù)構(gòu)筑和強(qiáng)化技術(shù)壁壘,產(chǎn)品遍及光伏、柔性電子、半導(dǎo)體、LED及MEMS等諸多領(lǐng)域,形成了一支專業(yè)能力強(qiáng)、服務(wù)素質(zhì)過硬的高效團(tuán)隊(duì)。

這家異軍突起的行業(yè)“隱形冠軍”,正是注冊在無錫新吳區(qū)的江蘇微導(dǎo)納米科技股份有限公司。

1\回國創(chuàng)業(yè)的三個(gè)原因
 
1990年,22歲的黎微明遠(yuǎn)赴芬蘭赫爾辛基大學(xué)攻讀無機(jī)化學(xué)學(xué)位,博士畢業(yè)后他陸續(xù)在ASM、Silecs、Picosun等國際知名企業(yè)承擔(dān)并專精于ALD技術(shù)的應(yīng)用與研發(fā)工作。


在特定情況下,不同元素原子可以通過表面飽和化學(xué)反應(yīng),形成具有自限制的單原子層,重復(fù)形成的原子層就能以薄膜形式密集地覆蓋深亞微米級的復(fù)雜立體結(jié)構(gòu)表面。目前,任何其他已知的技術(shù)也不能如此精確地實(shí)現(xiàn)薄膜沉積過程中“原子層級”的控制效果。

2010至2015年期間,黎微明在 Picosun公司負(fù)責(zé)ALD技術(shù)亞太區(qū)的運(yùn)營和發(fā)展。“觸動(dòng)我選擇回國創(chuàng)業(yè)的原因有三點(diǎn)”,黎微明表示,一是當(dāng)時(shí)ALD設(shè)備幾乎被國際幾大巨頭所壟斷,國內(nèi)在這一方面仍是空白;二是當(dāng)時(shí)公司對亞太市場的戰(zhàn)略偏向保守;三是參觀了國內(nèi)某高端裝備企業(yè)后,他切身感受到中國尖端科技欣欣向榮的發(fā)展態(tài)勢。

“我感受到國外媒體對中國方方面面的報(bào)道非常不客觀,只有親身經(jīng)歷,才了解到原來中國某些領(lǐng)域的科技企業(yè),不論是技術(shù)水平,還是現(xiàn)代化管理水平均已經(jīng)走在了世界前列。國內(nèi)大環(huán)境,特別是江蘇地方政府開放、務(wù)實(shí)、高效的工作作風(fēng)也讓人印象非常深刻。”

2015年,黎微明辭去芬蘭Picosun公司亞太區(qū)董事的職位,出任微導(dǎo)納米的副董事長兼首席技術(shù)官,負(fù)責(zé)該公司ALD技術(shù)路線和高端裝備的研發(fā)與產(chǎn)業(yè)化。
 
2\全球首創(chuàng)將ALD技術(shù)規(guī)?;瘧?yīng)用于光伏產(chǎn)業(yè)
 
早在2010年前后,國際巨頭ASM、Picosun以及Beneq便嘗試將 ALD技術(shù)應(yīng)用在光伏市場,但是在推廣的過程中,他們都遇到了技術(shù)或規(guī)?;?、產(chǎn)業(yè)化方面的難題,紛紛將這一設(shè)想擱置。

“我2015年回國創(chuàng)業(yè)的時(shí)候,中國已經(jīng)是全球光伏行業(yè)的領(lǐng)頭羊,但所有的核心關(guān)鍵設(shè)備均來自于德國、瑞士等歐美國家。我們希望做一些創(chuàng)新和突破,把ALD技術(shù)的應(yīng)用規(guī)模做得更大,在光伏領(lǐng)域?qū)崿F(xiàn)產(chǎn)業(yè)化。”抱著這樣的初衷,黎微明開始帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)潛心研發(fā)ALD技術(shù)在光伏領(lǐng)域的應(yīng)用。

ALD技術(shù)雖然可行,但最大的難點(diǎn)在于該技術(shù)產(chǎn)業(yè)化的成本并不占優(yōu)勢。當(dāng)時(shí),國內(nèi)光伏產(chǎn)業(yè)已經(jīng)非常成熟,如何在有限的利潤空間里將應(yīng)用成本降低,實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化、規(guī)模化、標(biāo)準(zhǔn)化,成為了微導(dǎo)納米創(chuàng)立以來首先需要解決的問題。

“第一個(gè)光伏ALD設(shè)備,其實(shí)是客戶主動(dòng)找過來的。有家企業(yè)想嘗試采用一些新的技術(shù),應(yīng)用在最先進(jìn)的電池片里面,提升電池效率。”

接到需求后,微導(dǎo)納米用半年時(shí)間開發(fā)出了第一代樣機(jī),隨后黎微明又帶著設(shè)備和團(tuán)隊(duì)進(jìn)駐客戶工廠辦公一年,不斷地調(diào)整工藝和技術(shù)。2018年,其光伏領(lǐng)域的“夸父”原子層沉積設(shè)備一經(jīng)面世,便在行業(yè)內(nèi)迅速引起了廣泛關(guān)注。有業(yè)內(nèi)人士評價(jià):“微導(dǎo)納米ALD設(shè)備批量重復(fù)驗(yàn)證的PERC電池效率、EL良率、設(shè)備稼動(dòng)率、安全性能、產(chǎn)能和綜合使用成本等關(guān)鍵技術(shù)指標(biāo),均超越了現(xiàn)在使用的主流國外技術(shù),確立了一條不同于以往的新PERC電池生產(chǎn)方式。微導(dǎo)納米獨(dú)特的腔體和自動(dòng)化設(shè)計(jì),特別是其超高容量和超高產(chǎn)能的量產(chǎn)性能,極大地降低了PERC電池生產(chǎn)成本,是當(dāng)前全球技術(shù)和性能最為先進(jìn)的批量型ALD量產(chǎn)設(shè)備之一。”

回憶這段歷程,黎微明表示:當(dāng)時(shí)那個(gè)節(jié)點(diǎn),微導(dǎo)納米最缺乏的就是時(shí)間的驗(yàn)證,國內(nèi)公司還不太相信國產(chǎn)化設(shè)備及技術(shù),但其實(shí)我們第一代產(chǎn)品技術(shù)指標(biāo)就遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過了當(dāng)時(shí)能夠買到的國際上最先進(jìn)的設(shè)備技術(shù)水平。從技術(shù)階段來說,它遠(yuǎn)遠(yuǎn)超過我們現(xiàn)在所謂的“填補(bǔ)國內(nèi)技術(shù)產(chǎn)業(yè)空白”,而更應(yīng)該被稱之為一項(xiàng)“國際級前沿技術(shù)創(chuàng)新”。

而后,越來越多的客戶慕名而來尋求合作,微導(dǎo)納米的產(chǎn)品覆蓋包括通威太陽能、隆基股份、晶澳太陽能、阿特斯、天合光能等在內(nèi)的多家知名太陽能電池片生產(chǎn)商。發(fā)展到今天,微導(dǎo)納米的ALD產(chǎn)品幾經(jīng)迭代,工藝日漸純熟,目前已成長為全球高效電池生產(chǎn)最先進(jìn)的核心設(shè)備之一,在同類型產(chǎn)品中市場占有率穩(wěn)居全球第一梯隊(duì)。
 
3\加快突破半導(dǎo)體領(lǐng)域核心技術(shù)攻關(guān)
 
黎微明也是全球第一批將ALD技術(shù)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域的科學(xué)家之一。在芬蘭工作期間,他參與了為英特爾公司45nm芯片研發(fā)高介電薄膜的工作,而國內(nèi)在28nm產(chǎn)品上才使用到該項(xiàng)ALD技術(shù)。

“和國外現(xiàn)狀相比,國內(nèi)半導(dǎo)體行業(yè)至少落后了10年。微導(dǎo)納米著力于擴(kuò)大光伏領(lǐng)域ALD產(chǎn)品市場份額的同時(shí),并沒有放下半導(dǎo)體領(lǐng)域的研發(fā)探索,我們團(tuán)隊(duì)很多科研人員都是半導(dǎo)體行業(yè)出身,我們都希望通過自己的專業(yè)能夠?yàn)橹袊雽?dǎo)體關(guān)鍵裝備國產(chǎn)化出一份力。”在談到微導(dǎo)納米為何在成立3年后,又著力開拓半導(dǎo)體應(yīng)用市場時(shí),黎微明介紹道。

“要進(jìn)軍半導(dǎo)體的話,公司必須要有超凈間和先進(jìn)的檢測設(shè)備,這需要大量的資金投入。也是在2019年,公司正式對外開放融資,毅達(dá)資本——在半導(dǎo)體領(lǐng)域深耕多年的國內(nèi)頭部機(jī)構(gòu),成為了微導(dǎo)納米的A輪投資方。后續(xù),公司又引進(jìn)中芯聚源、高瓴創(chuàng)投等產(chǎn)業(yè)界、投資界資本,為公司提供了大量資金支持。”

2022年開年,微導(dǎo)納米傳來好消息,公司成為國內(nèi)首家成功將量產(chǎn)型 High-k 原子層沉積設(shè)備應(yīng)用于 28nm節(jié)點(diǎn)集成電路制造前道生產(chǎn)線的國產(chǎn)設(shè)備公司。設(shè)備總體表現(xiàn)和工藝關(guān)鍵性能參數(shù)達(dá)到國際同類水平,并已獲得客戶重復(fù)訂單認(rèn)可,成功解決了一項(xiàng)半導(dǎo)體設(shè)備的國產(chǎn)化難題,這也標(biāo)志著微導(dǎo)納米在國產(chǎn)ALD裝備產(chǎn)業(yè)化領(lǐng)域邁出了堅(jiān)實(shí)的步伐。

隨著半導(dǎo)體制造技術(shù)的不斷進(jìn)步,對ALD技術(shù)的需求也愈發(fā)顯著。目前微導(dǎo)納米已經(jīng)與國內(nèi)多家半導(dǎo)體企業(yè)展開深入合作,并突破了多項(xiàng)技術(shù)“無人區(qū)”,填補(bǔ)了該領(lǐng)域無國產(chǎn)設(shè)備的空白。

關(guān)于公司的未來,黎微明表示,“一方面,我們希望通過我們的專業(yè),加快突破國產(chǎn)芯片設(shè)備發(fā)展的最前沿技術(shù)攻關(guān)。同時(shí),我們希望能夠?qū)LD技術(shù)應(yīng)用到新能源、新材料等更多戰(zhàn)略性產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域,助力產(chǎn)業(yè)技術(shù)走在世界的最前沿。”
 

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